上海银雀电子科技发展有限公司
的晶圆尺寸:200mm,300mm
较小的晶片尺寸:100mm,150mm
金属离子自由激活:选项
4个工艺气体:
通用质量流量控制器
真空系统:真空度:为9×10 -2毫巴(标准)
涡轮泵的高真空系统:真空度:9x10-3毫巴(选项)
支持光学对准键合:标准
装载/卸料室(晶圆/基板放在装料销上):自动