SENTECH SENresearch光谱椭偏仪
SENresearc是一款高性能研发用宽波段光谱椭偏仪,光谱范围190 nm –2500nm。
该系列光谱椭偏仪能够测量薄膜厚度,折射率,吸收系数,并能够描述材料性质,如材料组分、折射率梯度、表面和界面粗糙层、各向异性材料和多层膜。
SENresearch光谱椭偏仪能够分析并不理想的样品,如退偏效应,非均匀样品,散射和背板反射。SENresearch由SpectraRay II软件操作,完善的软件能够测量数据,建模,拟合并作出椭偏测量、反射/透射测量的结果报告。
SENresearch系列光谱椭偏仪能够测量反射光偏振状态,修正由于非均匀样品、粗糙表面、聚焦角度所导致的退偏效应。并能够分析各向异性样品和材料。
?SENTECH先进的地貌图扫描选项,支持对复杂多层膜样品在全波段快速测量并分析其均匀性(较小每点5秒)。数据可按照设定的地图图案表现为2D-, 3D-或等高线图,并能够进行全面统计分析。
SENresearch 能够测量反射率、透射率。光度测量数据可通过SpectraRay II软件分析。
可选自动角度计,提供更大范围入射角度(20-90deg)。可选低温保持器用于温度控制测量。