SENTECH RM 1000反射仪能够在UV-VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析薄膜厚度和折射率.
特性:
高精度测量反射光谱, 非接触、正入射测量
宽光谱范围,UV-NIR
可测量反射率R, 薄膜厚度, 折射率
FTP expert分析软件,用于测量薄膜光学常数。
测量半导体膜的材料组分(例如: AlGaN on GaN)
分析外延生长多层膜
选项:
深紫外扩展 (200 nm)
近红外扩展 (1700 nm)
x-y 地貌图扫描样品台和扫描软件
摄像头选项,用于观测样品表面
电脑