企业信息

    上海银雀电子科技发展有限公司

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  • 公司认证: 营业执照已认证
  • 企业性质:有限责任公司
    成立时间:2005-04-26
  • 公司地址: 上海市 徐家汇1001号
  • 姓名: 侯经理
  • 认证: 手机未认证 身份证未认证 微信未绑定

    供应分类

    IQAligner® 自动化紫外线纳米压印光刻系统

  • 所属行业:电子 电子产品制造设备
  • 发布日期:2023-06-02
  • 阅读量:39
  • 价格:面议
  • 产品规格:不限
  • 产品数量:6.00 台
  • 包装说明:不限
  • 发货地址:上海  
  • 关键词:自动化紫外线纳米压印,纳米压印

    IQAligner® 自动化紫外线纳米压印光刻系统详细内容

    IQ Aligner®  Automated UV Nanoimprint Lithography System

    IQAligner®   自动化紫外线纳米压印光刻系统

     

    用于晶圆级透镜成型和堆叠的高精度UV压印系统

     

    技术数据

    IQ Aligner UV-NIL系统允许使用直径从150 mm300 mm的压模和晶片进行微成型和纳米压印工艺,非常适合高度平行地制造聚合物微透镜。该系统从从晶圆尺寸的主图章复制的软性图章开始,提供了混合和整体式微透镜成型工艺,可以轻松地将其与工作图章和微透镜材料的各种材料组合相适应。此外,EV Group提供合格的微透镜成型工艺,包括所有相关的材料专业知识。

    EV Group专有的卡盘设计可为高产量大面积印刷提供均匀的接触力。配置包括从压印基材上释放邮票的释放机制。

     

    特征

    用于光学元件的微成型应用

    用于全场纳米压印应用

    三个独立控制的Z轴,可在印模和基材之间实现出色的楔形补偿

    三个独立控制的Z轴,用于压印抗蚀剂的总厚度变化(TTV)控制

    利用柔软的印章进行柔软的UV-NIL工艺

    EVG专有的全自动浮雕功能

    抵抗分配站集成

    粘合对准和紫外线粘合功能

    IQ对准器

     

    技术数据

    晶圆直径(基板尺寸)150300毫米

    解析度50 nm(分辨率取决于模板和工艺)

    支持流程:柔软的UV-NIL,镜片成型

    曝光源:汞光源

    对准:≤±0.5微米

    自动分离:支持的

    前处理

    涂层:水坑点胶(可选)

    迷你环境和气候控制

    可选的:

    工作印章制作:支持的;




    http://yakeshanghai80.b2b168.com
    欢迎来到上海银雀电子科技发展有限公司网站, 具体地址是上海市徐家汇1001号,老板是彭波。 主要经营原子力显微镜、扫描电子显微镜、纳米表征、微纳加工。 单位注册资金单位注册资金人民币 1000 - 5000 万元。 我们的产品优等,服务优质,您将会为选择我们而感到放心,我们将会为得到您认可而感到骄傲。