SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC

离子注入设备

SiC用高温离子注入设备 IH-860DSIC

 搭载了高温ESC（静电吸附卡盘）的面向SiC量产用的高能粒子注入装置。

产品特性 / Product characteristics

• 可实现自动连续高温处理注入

• 1价离子可注入至350keV、2价离子可注入至700keV

       （Option：1价离子可注入至430keV、2价离子可注入至860keV）

• 通过Dual-End-Station（双工位）实现高产能；

       （A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等等，可配合客户的希望就行规格配置）

• 可减轻操作员的负担

•      紧凑式设计

• 可大范围对应从试作到量产的各类需求

产品应用 / Product application

•  对应SiC的离子注入装置。