PECVD 带预真空室的化学气相沉积设备

PECVD   带预真空室的化学气相沉积设备

SI 500 PPD

工艺灵活性

PECVD沉积设备SI 500 PPD便于在从室温到350℃的温度范围内进行SiO2、SiNx、SiOxNy和a-Si的标准的化学气相沉积工艺。

预真空室

SI 500 PPD的特色是预真空室和干泵装置，用于无油、高产量和洁净的化学气相沉积过程。

SENTECH控制软件

强大的用户界面友好软件包括模拟图形用户界面，参数窗口，工艺处方编辑窗口，数据记录和用户管理。

SI 500 PPD代表了先进的等离子体增强化学气相沉积设备，用于介质膜、非晶硅、碳化硅和其他材料的沉积。它基于平板电容耦合等离子体源，预真空室，温控衬底电极，可选的低频射频源、全自动控制的无油真空系统、先进的SENTECH控制软件，采用远程现场总线技术，以及用户友好的通用界面来操作SI 500 PPD。

SI 500 PPD等离子沉积设备，可以加工从大到200毫米直径的晶片到装载在载片器上的零件。单晶片预真空室保证稳定的工艺条件，并实现简易切换的过程。

SI 500 PPD等离子增强沉积设备用于在从室温到350℃的温度范围内沉积SiO2、SiNx、SiONx和a-Si薄膜。通过液态或气态前驱体，SI 500 PPD可以为TEOS, SiC和其它材料的沉积提供解决方案。SI 500 PPD特别适用于化学气相沉积用于刻蚀掩膜，钝化膜，波导及其他的介质膜和非晶硅。

SENTECH提供不同级别的自动化程度，从真空片盒载片到一个工艺腔室或至多六个工艺模块端口，可用于不同的蚀刻和沉积工艺模块组成多腔系统，目标是高灵活性或高产量。SI 500 PPD也可用作多腔沉积系统中的一个工艺模块。

· 等离子化学气相沉积设备

· 带预真空室

· 适用于大到200mm的晶片

· 衬底温度从室温到350 °C

· 可选低频射频降低应力

· 用于沉积TEOS的液态前驱体

· 干泵组