PSX307等离子清洁剂

以氧离子改良表面
采用氧基改良表面性质，改善了模制树脂的密着性和下部填充物的浸湿性。(选购件)

搬送系统选购件

型号

NM-EFP1A

清洁方式

高频率平行板逆电极方式

放电用气体 ※1

氩气[选购件：氧气]

基板尺寸

L 50 mm × W 20 mm 〜L 250 mm × W 75 mm ※2（附带S类型的搬送系统和进料/出料选购件）
L 50 mm × W 20 mm 〜L 330 mm × W 120 mm （附带M类型的搬送系统和进料/出料选购件）

基板厚度

0.5 mm 〜2.0 mm

设备尺寸/ 质量 ※3

W 930 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 555 kg

W 1 764 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 850 kg （附带S类型的搬送系统和进料/出料选购件）

W 1 750 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 725 kg（附带M类型的搬送系统和进料/出料选购件）

电源 ※4

单相AC 200 V 2.00 kVA (峰值时5.00kVA)

空压源

0.49 MPa、6.5 L/min [A.N.R.]