上海银雀电子科技发展有限公司
E2000-大批量生产的卧式炉
centrotherm 2000专为大批量生产而设计,支持多种工艺能力,适用于大批量生产和高工艺性能的用户,并具有**的高性能、占地面积小、低购置成本等优势。该产品对多种应用要求的高工艺具有的灵活性,并可高达4层石英管或硅片尺寸可达300毫米的SiC工艺管
特点:
适用于常压以及LPCVD和PECVD工艺特殊工艺腔体3或4种版本可供选择先进的冷却系统:不同炉管之间没有热干扰全自动片架传送系统模块化部件设计,便于在洁净室安装调试